清代山西省行政版图划分

清代在山西省没有设总督，但是当时的山西省还包括今内蒙古自治区的一部分
1820年山西省行政区划
冀宁道 太原府 汾州府 潞安府 泽州府 辽州 沁州 平定州

河东道 蒲州府 平阳府 解州 隰州 霍州

雁平道 大同府 朔平府 甯武府 绛州 忻州 保德州 代州

归绥道 归化城厅 萨拉齐厅 丰镇厅 托克托厅 宁远厅 清水河厅 和林格尔厅 兴和厅 武川厅 陶林厅 五原厅 东胜
1911年山西省行政区划

清朝宣统三年，山西编户一百九十九万三十五，口九百二十一万九千九百八十七。领府九，直隶州十，厅十二，州六，县八十五。
——————
冀宁道
太原府
阳曲太阳榆次太谷徐沟交城文水岚兴岢岚州

汾州府
汾阳孝义平遥介休石楼临宁乡永宁州

潞安府
长治长子屯留襄垣潞城壶关黎城

泽州府
凤台高平阳城陵川沁水

辽州直隶州
城和顺榆社

沁州直隶州
城沁源武乡

平定直隶州
城盂寿阳

忻州直隶州
城定襄静乐
——————
河东道
平阳府
临汾洪洞浮山岳阳曲沃翼城太平襄陵汾西乡宁吉州

蒲州府
永济临晋虞乡荣河猗氏

解州直隶州
城安邑夏平陆芮城

隰州直隶州
城蒲永和大宁

霍州直隶州
城赵城灵石
——————
雁平道
大同府
大同怀仁山阴阳高天镇广灵灵丘浑源州应州

绛州直隶州
城垣曲闻喜绛河津稷山

朔平府
石玉左云平鲁朔州

宁武府
宁武偏关神池五寨

代州直隶州
城崞五台繁峙

保德直隶州
城河曲
——————
归绥道
归化城直隶厅

萨拉齐直隶厅

清水河直隶厅

丰镇直隶厅

托克托直隶厅

宁远直隶厅

和林格尔直隶厅

兴和直隶厅

陶林直隶厅

武川直隶厅

五原直隶厅

东胜直隶厅